電子工業(yè)潔凈室常根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設置防靜電環(huán)境，以便抑制靜電的產(chǎn)生，將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全地排除。下面筆者就談下電子廠潔凈車間防靜電設計。
在進行電子廠潔凈車間設計時首先要明確控制的靜電電位，該值≤100V為一級，≤200V為二級，≤1000V為三級，其適用場所分別是半導體器件、集成電路和具有一級靜電敏感的電子產(chǎn)品制造和測試場所；對靜電敏感的精密電子儀器和器件制造和測試場所；除去一、二級以外的電子器件和整機的組裝調(diào)試場所。
在潔凈室設計中為了減少靜電事故，除了產(chǎn)品本身的保護措施外，設計者的責任就是設法減小起電程度。減小起電程度并加速電荷的泄漏，可以通過物理的和化學的方法實現(xiàn)。物理方法有選擇合適的材料、接地和調(diào)節(jié)空氣濕度。
1、材料分三種類型：導電材料、靜電耗散材料和抗靜電材料。表面電阻率低于每單位面積105歐姆，是導電的材料；每單位面積達到106~109歐姆，是靜電耗散的材料；每單位面積達到1010歐姆~1014歐姆，是抗靜電的材料。
如果器件已獲得電荷，并與高電導率的已接地表面相接觸，該電荷將迅速排掉，使電流水平可能達到足夠高，以致可損害該器件可采用靜電耗散材料來減慢放電速率，以減少過快放電帶來的損害。抗靜電材料則具有低靜電產(chǎn)生能力，也可比較慢地排掉電荷。
2、接地是消除導體上靜電荷的一種有效方法這種方法簡單、可靠，不需要很大的費用。接地必須符合安全技術規(guī)程的要求。
即使已采用了其他防靜電的方法，工作點的工藝設備、試驗和測量設備的所有金屬和導電的非金屬部分仍都必須接地。
防靜電的接地裝置和電氣安全接地裝置應連接在一起。對于坐著進行操作的人員，建議穿抗靜電工作服，人體通過抗靜電工作服和抗靜電坐墊接地。
3、調(diào)節(jié)濕度法是降低起電程度的簡單方法之一，是將生產(chǎn)車間中空氣的相對濕度提高到65％~70％。此時大多數(shù)介質(zhì)面層的表面上都凝聚有一層厚厚的水膜。水膜中常含有大量溶解物質(zhì)的離子，因而介質(zhì)的表面電導率隨濕度的提高而提高。提高濕度尤其能使衣服纖維材料的起電性能降低。
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