采用潔凈室技術，對受控微環(huán)境進行污染控制以達到所要求的空氣潔凈度，需采取多種綜合技術措施。這些技術措施包括：1采用符合潔凈室要求的材料建造潔凈室。2選用符合潔凈室要求的設備。3采用閉密、隔離或排塵等措施有效控制污染物的擴散。4采用壓差控制措施。5采用合理的人凈、物凈措施。6采用符合潔凈度要求的氣流組織形式等。
1.采用符合要求的材料建造潔凈室
潔凈室的污染控制是一項系統(tǒng)工程，需多種措施有效配合，才能以最小的代價來達到最有效的污染控制。潔凈室的墻壁、地面、頂棚應不產(chǎn)塵、少積塵、不易孳生細菌、無接縫或少接縫且接縫應嚴密。符合要求的材料有彩鋼夾芯復合板、電解鋼板加抗菌涂層、人造石材板等。地面材料有環(huán)氧樹脂自流平地面、PC防靜電地板、高級水磨石地面等。
2.選用符合潔凈室要求的設備
這項工作由工藝專業(yè)完成。目前的情況是：有相當比例的工藝設備不符合潔凈室的要求，表現(xiàn)為表面凹凸不平、易產(chǎn)塵積塵、污染環(huán)境?？稍谠O備安裝后，在不影響使用的情況下，用不銹鋼板進行裝飾，使其表面平整、光潔。
3.采用壓差控制措施
根據(jù)潔凈度的高低、工藝設備的產(chǎn)塵情況，利用壓差有效控制污染。一般情況下，氣流應從潔凈度高的潔凈室向潔凈度低的潔凈室滲透。對于產(chǎn)生污染的潔凈室，除采取防止污染擴散的措施外，應使該潔凈室處于相對負壓的狀態(tài)，以防污染鄰室。
4.采用合理的人凈、物凈措施
配合建筑設計專業(yè)，合理設計人流、物流通道，根據(jù)工藝要求，采用一更、二更甚至三更的人凈方案。必要時需設置空氣吹淋室吹掉潔凈工作服上的浮塵。原材料的輸入，產(chǎn)品輸出，均需有很好的保護措施，如設置傳遞窗、傳遞通道。對輸入原輔料進行外包吸塵、脫外包等工序。通過壓差來控制輸入、輸出口氣流流向，應使?jié)崈魠^(qū)的靜壓比非潔凈區(qū)高15Pa。
5.采用符合潔凈度要求的氣流組織形式
這是空氣凈化的核心措施。采用過濾的方法（至少三級：粗效、中效、高效或亞高效），使送風氣流潔凈。在非單向流潔凈室中，通過合理布置送風口及回風口，靠潔凈送風氣流的擴散、稀釋作用，把污染物稀釋后從回風口排出。保持潔凈室的懸浮粒子濃度在要求的范圍內。在單向流潔凈室中，靠潔凈送風氣流“活塞”般的平推作用，把污染物從回風口“壓”出。
近年來，有些產(chǎn)品的生產(chǎn)要求精密化及高純度，除需要控制微環(huán)境中的微粒污染外，還需要控制其分子污染。為此，在這些潔凈室的空氣處理系統(tǒng)中還應設置化學過濾器、吸附過濾器及吸收裝置。