下面華盛興邦談下凈化車間的隔離裝置與微環(huán)境。降低造價(jià)及運(yùn)行費(fèi)用是凈化車間設(shè)計(jì)所追求的目標(biāo)，當(dāng)加強(qiáng)污染控制會(huì)帶來(lái)產(chǎn)量、質(zhì)量的提高時(shí)尤其如此。因此，各種稱為“隔離裝置”“屏障技術(shù)”“微環(huán)境”的設(shè)施如雨后春筍般涌現(xiàn)出來(lái)。“微環(huán)境”是半導(dǎo)體工業(yè)中常用的術(shù)語(yǔ)，“隔離裝置”“屏障技術(shù)”則在生物潔凈如制藥工業(yè)中經(jīng)常用到。
各種凈化級(jí)別的凈化車間實(shí)際上就是一種隔離裝置，使加工工藝及其加工的產(chǎn)品遠(yuǎn)離污染，提高產(chǎn)品的優(yōu)良率。可以說(shuō)，潔凈技術(shù)就是隔離技術(shù)。在潔凈技術(shù)的發(fā)展中曾依次使用過(guò)四種半導(dǎo)體工業(yè)中的潔凈室模式它們是:全室型、混合型、潔凈隧道型和潔凈管道型，如圖1所示。
圖1
從上面提到的四種潔凈方式或四代潔凈室的發(fā)展方式可以看出，潔凈技術(shù)的發(fā)展方向就是在努力提高潔凈度等級(jí)的同時(shí)，盡可能地減少超潔凈區(qū)域的容積，降低潔凈廠房的造價(jià)和運(yùn)行費(fèi)用，達(dá)到最小化生產(chǎn)成本的目的。微環(huán)境和SMIF/微環(huán)境就是在這樣的理念下發(fā)展起來(lái)的。